ഒരു അർദ്ധചാലക (FAB) വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയുടെ ലക്ഷ്യ മൂല്യം

ഒരു അർദ്ധചാലക (FAB) വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയുടെ ടാർഗെറ്റ് മൂല്യം ഏകദേശം 30 മുതൽ 50% വരെയാണ്, ഇത് ലിത്തോഗ്രാഫി സോണിൽ പോലെയുള്ള ± 1% പിഴവിൻ്റെ ഇടുങ്ങിയ മാർജിൻ അനുവദിക്കുന്നു - അല്ലെങ്കിൽ ഫാർ അൾട്രാവയലറ്റ് പ്രോസസ്സിംഗിൽ (DUV). സോൺ - മറ്റെവിടെയെങ്കിലും അത് ± 5% ആയി കുറയ്ക്കാം.
ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയ്ക്ക് വൃത്തിയുള്ള മുറികളുടെ മൊത്തത്തിലുള്ള പ്രകടനം കുറയ്ക്കാൻ കഴിയുന്ന നിരവധി ഘടകങ്ങളുണ്ട്, ഇനിപ്പറയുന്നവ ഉൾപ്പെടെ:
1. ബാക്ടീരിയ വളർച്ച;
2. ജീവനക്കാർക്കുള്ള റൂം ടെമ്പറേച്ചർ കംഫർട്ട് റേഞ്ച്;
3. ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചാർജ് പ്രത്യക്ഷപ്പെടുന്നു;
4. മെറ്റൽ നാശം;
5. ജല നീരാവി ഘനീഭവിക്കൽ;
6. ലിത്തോഗ്രാഫിയുടെ അപചയം;
7. വെള്ളം ആഗിരണം.

60%-ത്തിലധികം ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ ബാക്ടീരിയയും മറ്റ് ജൈവമാലിന്യങ്ങളും (പൂപ്പൽ, വൈറസുകൾ, ഫംഗസ്, കാശ്) വളരും. ചില ബാക്ടീരിയൽ സമൂഹങ്ങൾക്ക് ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയിൽ 30% ൽ കൂടുതൽ വളരാൻ കഴിയും. 40% മുതൽ 60% വരെ ഈർപ്പം നിയന്ത്രിക്കണമെന്ന് കമ്പനി വിശ്വസിക്കുന്നു, ഇത് ബാക്ടീരിയകളുടെയും ശ്വാസകോശ സംബന്ധമായ അണുബാധകളുടെയും ആഘാതം കുറയ്ക്കും.

40% മുതൽ 60% വരെയുള്ള ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയും മനുഷ്യൻ്റെ സുഖസൗകര്യങ്ങളുടെ മിതമായ പരിധിയാണ്. അമിതമായ ഈർപ്പം ആളുകൾക്ക് വിറയൽ അനുഭവപ്പെടാൻ ഇടയാക്കും, അതേസമയം 30% ൽ താഴെയുള്ള ഈർപ്പം ആളുകൾക്ക് വരണ്ട ചർമ്മം, വിള്ളലുകൾ, ശ്വസന അസ്വസ്ഥതകൾ, വൈകാരിക അസന്തുഷ്ടി എന്നിവ അനുഭവപ്പെടാം.

ഉയർന്ന ആർദ്രത യഥാർത്ഥത്തിൽ ക്ലീൻറൂം ഉപരിതലത്തിൽ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചാർജുകളുടെ ശേഖരണം കുറയ്ക്കുന്നു - ആവശ്യമുള്ള ഫലം. കുറഞ്ഞ ഈർപ്പം ചാർജ് ശേഖരണത്തിനും ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ഡിസ്ചാർജിൻ്റെ അപകടകരമായ ഉറവിടത്തിനും അനുയോജ്യമാണ്. ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 50% കവിയുമ്പോൾ, ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചാർജുകൾ അതിവേഗം ചിതറാൻ തുടങ്ങുന്നു, എന്നാൽ ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 30% ൽ കുറവാണെങ്കിൽ, അവ ഒരു ഇൻസുലേറ്ററിലോ ഭൂഗർഭ ഉപരിതലത്തിലോ വളരെക്കാലം നിലനിൽക്കും.

35% മുതൽ 40% വരെയുള്ള ആപേക്ഷിക ആർദ്രത തൃപ്തികരമായ വിട്ടുവീഴ്ചയായി ഉപയോഗിക്കാം, കൂടാതെ അർദ്ധചാലക വൃത്തിയുള്ള മുറികൾ സാധാരണയായി ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചാർജുകളുടെ ശേഖരണം പരിമിതപ്പെടുത്തുന്നതിന് അധിക നിയന്ത്രണങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ആപേക്ഷിക ആർദ്രത വർദ്ധിക്കുന്നതിനനുസരിച്ച് നാശ പ്രക്രിയകൾ ഉൾപ്പെടെ നിരവധി രാസപ്രവർത്തനങ്ങളുടെ വേഗത വർദ്ധിക്കും. വൃത്തിയുള്ള മുറിക്ക് ചുറ്റുമുള്ള വായുവിലേക്ക് തുറന്നിരിക്കുന്ന എല്ലാ പ്രതലങ്ങളും വേഗത്തിലാണ്.