ഒരു സെമികണ്ടക്ടർ (FAB) വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയുടെ ലക്ഷ്യ മൂല്യം

ഒരു സെമികണ്ടക്ടർ (FAB) വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയുടെ ലക്ഷ്യ മൂല്യം ഏകദേശം 30 മുതൽ 50% വരെയാണ്, ഇത് ലിത്തോഗ്രാഫി സോണിൽ പോലെ ±1% എന്ന ഇടുങ്ങിയ മാർജിൻ പിശക് അനുവദിക്കുന്നു - അല്ലെങ്കിൽ ഫാർ അൾട്രാവയലറ്റ് പ്രോസസ്സിംഗ് (DUV) സോണിൽ അതിലും കുറവ് - മറ്റിടങ്ങളിൽ ഇത് ±5% വരെ ഇളവ് ചെയ്യാൻ കഴിയും.
കാരണം ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയ്ക്ക് വൃത്തിയുള്ള മുറികളുടെ മൊത്തത്തിലുള്ള പ്രകടനം കുറയ്ക്കുന്ന നിരവധി ഘടകങ്ങളുണ്ട്, അവയിൽ ചിലത് ഇതാ:
1. ബാക്ടീരിയ വളർച്ച;
2. ജീവനക്കാർക്കുള്ള മുറിയിലെ താപനില സുഖകരമായ പരിധി;
3. ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചാർജ് പ്രത്യക്ഷപ്പെടുന്നു;
4. ലോഹ നാശം;
5. ജലബാഷ്പ ഘനീഭവിക്കൽ;
6. ലിത്തോഗ്രാഫിയുടെ അപചയം;
7. ജല ആഗിരണം.

60% ൽ കൂടുതൽ ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ ബാക്ടീരിയകളും മറ്റ് ജൈവ മാലിന്യങ്ങളും (പൂപ്പലുകൾ, വൈറസുകൾ, ഫംഗസുകൾ, മൈറ്റുകൾ) വളരും. ചില ബാക്ടീരിയ സമൂഹങ്ങൾക്ക് 30% ൽ കൂടുതൽ ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയിൽ വളരാൻ കഴിയും. 40% മുതൽ 60% വരെ ഈർപ്പം നിയന്ത്രിക്കണമെന്ന് കമ്പനി വിശ്വസിക്കുന്നു, ഇത് ബാക്ടീരിയകളുടെയും ശ്വസന അണുബാധകളുടെയും ആഘാതം കുറയ്ക്കും.

40% മുതൽ 60% വരെയുള്ള ആപേക്ഷിക ആർദ്രത മനുഷ്യർക്ക് സുഖകരമായ ഒരു മിതമായ പരിധിയാണ്. അമിതമായ ഈർപ്പം ആളുകളെ ശ്വാസംമുട്ടിക്കാൻ ഇടയാക്കും, അതേസമയം 30% ൽ താഴെയുള്ള ഈർപ്പം ആളുകളിൽ വരണ്ട ചർമ്മം, വിണ്ടുകീറൽ, ശ്വസന അസ്വസ്ഥത, വൈകാരിക അസന്തുഷ്ടി എന്നിവയ്ക്ക് കാരണമാകും.

ഉയർന്ന ഈർപ്പം ക്ലീൻറൂം പ്രതലത്തിൽ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചാർജുകളുടെ ശേഖരണം കുറയ്ക്കുന്നു - ഇത് ആവശ്യമുള്ള ഫലമാണ്. കുറഞ്ഞ ഈർപ്പം ചാർജ് ശേഖരണത്തിനും ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ഡിസ്ചാർജിന്റെ കേടുപാടുകൾ വരുത്തുന്ന ഒരു ഉറവിടത്തിനും അനുയോജ്യമാണ്. ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 50% കവിയുമ്പോൾ, ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചാർജുകൾ വേഗത്തിൽ ചിതറാൻ തുടങ്ങും, എന്നാൽ ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 30% ൽ കുറവാണെങ്കിൽ, അവ ഒരു ഇൻസുലേറ്ററിലോ ഒരു അൺഗ്രൗണ്ടഡ് പ്രതലത്തിലോ വളരെക്കാലം നിലനിൽക്കും.

35% നും 40% നും ഇടയിലുള്ള ആപേക്ഷിക ആർദ്രത തൃപ്തികരമായ ഒരു വിട്ടുവീഴ്ചയായി ഉപയോഗിക്കാം, കൂടാതെ സെമികണ്ടക്ടർ ക്ലീൻ റൂമുകൾ സാധാരണയായി ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചാർജുകളുടെ ശേഖരണം പരിമിതപ്പെടുത്തുന്നതിന് അധിക നിയന്ത്രണങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ആപേക്ഷിക ആർദ്രത വർദ്ധിക്കുന്നതിനനുസരിച്ച്, നാശന പ്രക്രിയകൾ ഉൾപ്പെടെയുള്ള നിരവധി രാസപ്രവർത്തനങ്ങളുടെ വേഗത വർദ്ധിക്കും. വൃത്തിയുള്ള മുറിക്ക് ചുറ്റുമുള്ള വായുവുമായി സമ്പർക്കം പുലർത്തുന്ന എല്ലാ പ്രതലങ്ങളും വേഗതയുള്ളതാണ്.